标准引用
本项目为半导体芯片生产项目，主要生产设备全部由国外引进，主要引进地是日本、美国、荷兰，其生产过程的气态主要污染物较多，经污染因子识别与环评大纲专家讨论会意见，从其对环境影响程度和危害性看，主要有H2S04雾、NOx、氟化物、HCl、C12非甲烷总烃、氨、H3P04、Sill4、 PH，、AsH30本次环境影响评价认为，目前半导体芯片行业在我国与世界各地均是新兴行业，其污染物种类较多，但相应的排放标准尚未界定清晰，我国信息产业部也正在制定相应的排放规定、技术导则和排放标准，作为本项目来说，在我国没有行业标准或国家标准之前，部分污染物排放限值执行《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)中的"最局允许排放浓度和最高允许排放速率"新污染源二级标准，氨执行《恶臭污染物排放标准》(GBl4554--93)中氨的限值，特征污染物没有查询到设备引进地的排放标准。PH3和AsH3执行国家《工业企业设计卫生标准》(TJ 36-79)车间空气中有害物质的最高容许浓度0.3mg/m3，H3P04执行前苏联车间卫生标准1.0mg/m3，SiH4执仃欧盟中荷兰的排放导则中的相关规定，具体指标见表6。参考执行上述推荐控制标准是可行的，在我国制定有行业标准或国家标准或其他相应污染物控制标准之后，建设单位应遵照执行